再添“芯”动力丨安徽喜力歌落户创智天地

    近日，国内半导体低温泵离子注入机核心零部件龙头企业安徽喜力歌真空技术有限公司（以下简称喜力歌）正式落户工投创智天地园区。

    喜力歌致力于半导体低温泵整机生产销售，该项目团队拥有超过18年半导体低温泵技术开发、半导体机台工艺积累，成功研制出国产智能化并量产第一代智能低温泵、低温制冷机、节能chiller（半导体专用温控装置）等半导体机台的子系统零部件，打破了我国半导体低温泵长期依赖进口的局面。该项目拟在园区投资1亿元，预计5年内营收可达9亿元。其生产设备主要应用于半导体晶圆制造、太阳能、真空镀膜（代替污染的电镀）、光学镀膜、航天模拟、核工业等，在晶圆制造工程中是离子注入机IMP和PVD机台不可替代的子系统。

    喜力歌的落户，将进一步丰富工业科技的产业结构布局，起到强链补链的优势作用。工业科技将充分利用平台优势和科技企业的力量，开启双方优势互补、合作共赢的新篇章，为园区与企业共同发展赋能，携手共创美好未来。